طراحی ساختار مغناطیسی یک کاتد کندوپاش مگنترون با استفاده از شبیه سازی میدان مغناطیسی و بررسی نرخ لایه نشانی
نویسندگان
چکیده
در این مقاله با بهینه سازی پیکربندی اجزای مغناطیسی کاتد کندوپاش مگنترون تخت گرد توسط نرم افزار اجزای محدود ansys، یک طرح جدید برای چیدمان قطعات مغناطیسی کاتد پیشنهاد شده است. در این طرح با مایل قرار دادن آهنربای کناری نسبت به سطح هدف و بکارگیری یک مهار در زیر آن، خطوط شار مغناطیسی در ناحیه نسبتاً وسیعی در بالای هدف موازی سطح آن شده است. علاوه بر این، یک نمونه کاتد بر اساس این طراحی ساخته و پارامترهای عملکردی آن اندازه گیری شده است. این پارامترها شامل بازدهی مصرف هدف و نرخ لایه نشانی است که در فشار 50 میلی تور و توان 1 کیلووات به ترتیب مقادیر 56 درصد و 16 نانومتر بر ثانیه برای آنها بدست آمد.
منابع مشابه
بررسی چقرمگی شکست و حساسیت به نرخ کرنش لایه نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی
نیترید تانتالوم به دلیل سختی بالا و مقاومت به خوردگی خوب توانسته است توجهات زیادی را به عنوان پوششی مناسب جلب نماید. اما چقرمگی شکست لایه‌های نازک نیترید تانتالوم که یکی از عوامل تاثیرگذار بر طول عمر پوشش است، هنوز به خوبی بررسی نشده است. در این پژوهش، برای نخستین بار، چقرمگی شکست، پلاستیسیته و حساسیت به نرخ کرنش لایه های نازک نیترید تانتالوم به کمک روش نانو فرورونده بررسی و ارزیابی شد. در این ...
متن کاملبررسی شبیه سازی اثرات هایپرترمیای ناشی از کاربرد نانوذرات مغناطیسی بربافت همگن واقع در میدان مغناطیسی خارجی
چکیدهدر مطالعات کلینیکی , مشخص کردن توزیع دما درون بافت سالم و نیز بافت تومورال در طی درمان هایپرترمیا دشوار است. از آن جایی که باحس گر های مرسوم دما تنها در تعداد محدودی مکان اندازه گیری می شود مطالعات شبیه سازی کمک می کند که پزشکان به درک بهتری از این روش درمانی دست پیدا کنند. در این مطالعه، سه مدل تومور دو بعدی بر اساس تصاویر توزیع های نانو ذره در تومورهای PC3، DU145 وLAPC4 در محیط COM...
متن کاملشبیه سازی تشدید میدان مغناطیسی ناشی از نانوذرّات بر بافت همگن واقع در میدان مغناطیسی خارجی
آشکارسازی تومورها در مراحل اولیه برای تشخیص سرطان از اهمّیّت بالایی برخوردار است. لذا برای تشخیص سلولهای سرطانی لازم است در شروع متاستازها از سلولهای نرمال متمایز شوند. مواد کنتراست فعلی به علّت اندازهی بزرگ و پوششهای ضروری برای جلوگیری از فعّالیّت شیمیایی در بدن، تنها در فضای خارج از سلول قابل استفاده هستند. نانوذرات به سبب اندازهی کوچک و قابل مقایسه با سلولها، امکان ورود به سلول را دارد. بدی...
متن کاملمدل سازی مستقیم پاسخ فرکانسی مؤلفه قائم مغناطیسی میدان الکترومغناطیس حاصل از چشمه دوقطبی مغناطیسی افقی از زمین لایه ای
مدلسازی مستقیم الکترومغناطیس (EM) با استفاده از چشمههای اولیه متفاوت یکی از راههای درک پیچیدگی توزیع امواج EM در زمین و نیز صحتسنجی تفسیرهای زمینشناسی مرتبط با مدلهای به‌دست‌آمده از معکوسسازی دادههای صحرایی EM است. در این مقاله، از یک برنامه کامپیوتری از پیش نوشته‌شده در محیط برنامهنویسی فرترن 77 بهمنظور مدلسازی مستقیم پاسخ فرکانسی میدان EM حاصل از چشمه دوقطبی مغناطیسی افقی استفاده‌ش...
متن کاملطراحی و پیاده سازی یک سیستم کنترل نیمه‌فعال سازه‌یی با استفاده از میراگر مغناطیسی جدید
در نوشتار حاضر، یک سیستم نیمه‌فعال سازه‌یی با استفاده از یک میراگر مغناطیسی جدید طراحی، ساخته و بر روی یک قاب برشی دو درجه آزادی آزمایشگاهی پیاده‌سازی شده است. در ابتدا بر پایه‌ی نتایج آزمون، پارامترهای مدل میراگر براساس مدل بوک ـ ون شناسایی شدند. در ادامه، کنترل‌کننده‌های قلاب آسمانی و تناسبی ـ مشتق‌گیر ـ انتگرال‌گیر طراحی و بر روی سازه پیاده‌سازی و عملکرد آنها برای یک زلزله‌ی نمونه با استفاد...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
عنوان ژورنال:
علوم و مهندسی سطح ایرانجلد ۷، شماره ۱۱، صفحات ۷۷-۸۵
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023